| 設(shè)備名稱 | 小型程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀--GSL-1700X-SPC-2 （2019.11.25—科晶實(shí)驗(yàn)室審核） |
| 產(chǎn)品提示 | 1.科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/span> 2.圖片未及時(shí)更新提示 3.多種配件可選提示 |
| 主要特點(diǎn) | ·直徑6英寸的石英腔體，便于清潔和放入樣品。 ·安裝有一個(gè)2英寸的樣品臺(tái)，并且樣品臺(tái)可以旋轉(zhuǎn)，使所制薄膜更加均勻。 ·樣品臺(tái)和蒸發(fā)源之間的距離可以調(diào)節(jié) ·氣體流量端口和閥門內(nèi)置可用于腔室凈化和CVD實(shí)驗(yàn)。
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| 基本參數(shù) | ·控溫方式：手動(dòng)控溫/程序控溫 ·控溫精度：+/-1℃ ·腔體真空度：5*10^-3Pa（表壓只能顯示到 1*10^-1Pa） ·樣品室：石英腔體：167mm OD. x 152mm ID x 260mm H ·基片：可裝載基片尺寸為 50mm ·輸出電壓：DC 18V ·輸出電流：≤ 40A ·輸入電源：AC220V/50HZ ·輸入功率：＜500W 更多參數(shù)請(qǐng)聯(lián)系科晶銷售部 |
| 溫控及加熱源 | ·采用鎢絲籃作為發(fā)熱源，并且配有專用的氧化鋁坩堝，熱電偶安裝在坩堝底部，以便于溫度測(cè)量和控制。（圖1） ·采用S型熱電偶（工作溫度為200℃-1500℃）（圖2） ·可選B型熱電偶（工作溫度為1200℃-1700℃） ·安裝有一個(gè)數(shù)顯的溫度控制器：可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/- 1oC（圖3） ·溫度控制器的時(shí)間設(shè)置以秒為單位，建議將升溫/降溫速率限制在1200oC以下0.3oC/s（20oC/ min），在1200 - 1500oC限制到0.15oC/s（10oC/min） ·儀器中配有鎢絲籃及氧化鋁坩堝（圖4、圖5）
圖1 圖2 圖3 圖4 圖5 |
| 進(jìn)氣口 | ·進(jìn)氣接口為1/4NPS，可向真空腔體中通入惰性氣體，對(duì)腔體進(jìn)行清洗，也可通入反應(yīng)氣體，進(jìn)行反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜 ·進(jìn)氣口安裝有一針閥，用于調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量 |
| 尺寸 | ·L440mmx W330mm x H630mm
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| 重量 | 40 kg |
| 認(rèn)證 | ·所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認(rèn)證，若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。
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| 質(zhì)保 | 一年質(zhì)保期，終生維護(hù) 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
