幾大系列：功能材料電學綜合測試系統、絕緣診斷測試系統、高低溫介電溫譜測試儀、極化裝置與電源、高壓放大器、PVDV薄膜極化、高低溫冷熱臺、鐵電壓電熱釋電測試儀、絕緣材料電學性能綜合測試平臺、電擊穿強度試驗儀、耐電弧試驗儀、高壓漏電起痕測試儀、儲能材料電學測控系統、壓電傳感器測控系統等
一、四探針電阻率產品介紹
四探針電阻率又名方塊電阻測試儀，主要用于測量電阻率及方塊電阻（只測量非金屬薄膜，避免設備污染）。提供自動計算機量測的四點探針阻值量測機臺。快速，jing確與軟件控制下針、軟件功能可化下針壓力，即使薄片量測也不易破裂。自動清針(Probe Conditioning);動作，雙針頭切換能使用可支持自動Loader，300mm 機臺可使用Front End，zui多擴充3個量測單元，支持Semi標準接口。
二、四探針電阻率技術參數
1薄膜電阻測量范圍: 10-5Ω.cm~105Ω.cm
2方塊電阻測量范圍:10-3Ω/□至106Ω/□
3晶片直徑: 50至200mm,可測量不規則硅片
4具有2D、3D Mapping的數據分析功能。
5具有測試數據自動導出功能。
三、四探針電阻率典型應用
1非晶硅/微晶硅和導電膜電阻率測量；
2選擇性發射極擴散片；
3表面鈍化片；
4交叉指樣PN結擴散片；
5新型電極設計，如電鍍銅電阻測量等
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