1.簡介
DSN系列氣體質量流量控制器, 即稱Mass Flow Controller（縮寫為MFC）, 不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。簡單地說,質量流量控制器就是一個穩流裝置, 是一個可以手動設定或與計算機聯接自動控制的氣體穩流裝置。
DSN系列氣體流量控制器/質量流量控制器特性：
產品名稱：氣體質量流量控制器(MFC/MFM)
標準量程（N2）：0～5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM； 0～1、2、3、5、10、20、30、50、100、200SLM；
準精度：±1％F.S；
重復精度：±0.2%F.S
響應時間：電特性 ＜10sec
氣特性＜1～4sec 氣體流量控制器線性：±（0.5～1）％F.S
工作壓差范圍：0.05～0.3MPa
氣體流量控制器耐壓：3，10MPa；
工作環境溫度：5～45℃
輸入輸出信號電壓：0～+5.00V
電源：+15V500mA、-15V500mA(輸入阻抗大于100K，輸出電流不大于3mA)
電連接器：D14pin
外形尺寸：130*28*121mm
重量：約1.0kg
接口尺寸：Swagelok:Φ3.Φ6.Φ10.Φ1/4〞.Φ3/8〞.... VCR接頭：Φ1/4〞.Φ3/8〞.Φ1/8〞........
