產品詳情
藍寶石系列壓力傳感器由藍寶石單晶絕緣體元素組成，剛度強不會發生滯后、疲勞和蠕 變現象；藍寶石有著非常好的彈性和絕緣特性（1000℃以內），對溫度變化不敏感，即使在 高溫條件下，也有著很好的工作特性。藍寶石的抗輻射特性*；硅-藍寶石傳感器采用硅 外延技術在藍寶石膜片上生長一層硅薄膜，然后采用光刻工藝生成硅橋路，采用重度摻雜工 藝生成應變電阻。藍寶石上生長的硅橋路無 p-N 節從而對輻射不敏感，同時不受結溫溫度上 限的影響可制作更高溫度測產品。采用的重度摻雜工藝可減小硅橋路在高溫條件下的 2 次污 染。從而藍寶石可應于各種復雜的工況、環境場合. 傳感器有雙膜片結構何但膜片結構組成：雙膜片結構產品由鈦合金測量膜片和接收膜片 組成。接收膜片是在鈦合金膜片上高溫熔焊的藍寶石膜片，測量膜片與接收膜片之間采用金 屬硬連桿連接，用熔焊或激光焊連接在一起。被測壓力傳送到接收膜片上。在壓力的作用下， 鈦合金接收膜片產生形變，該形變被硅-藍寶石敏感元件感知后，其電橋輸出會發生變化， 變化的幅度與被測壓力成正比。電橋電路將電橋的失衡信號，轉換為電壓信號輸出。
◆ 溫度測量范圍寬
◆ 溫度誤差極小
◆ 高精度，高穩定性
◆ 重量輕，性價比高
