ICP-MS全稱電感耦合等離子體質譜（Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry), ICP-MS技術是將ICP的高溫電離特性與四極桿質譜計的靈敏快速掃描的優點相結合而形成一種新型的強有力的元素分析、同位素分析和形態分析技術。該技術具有檢出限低、動態線性范圍寬、干擾少、分析精度高、速度快、可進行多元素同時測定等優異的分析性能，已從最初在地質科學研究的應用迅速發展到環境保護、半導體、生物、醫學、冶金、石油、核材料分析等領域。

儀器特點：

敞開式進樣系統，配備外部可裝卸的玻璃同心霧化器與玻璃旋流霧室。4通道12滾輪的蠕動泵，與進樣系統緊湊的安裝，速度可變，由計算機控制
三級真空系統配置了分流式分子渦輪泵，擁有*的氣體排氣量，頂端開啟式真空室，更容易接近分析器組件。
真空室內部所有元件的電路連接都采用了固定在真空室頂蓋上的金彈簧頂針接頭，減少了連線，使RF高頻泄漏降到最小，并確保電路通暢。
四極桿電源采用DDS（直接數字頻率合成）技術，實現頻率自動匹配。
*的碰撞反應池技術有效地消除由樣品基體或等離子源引起的各種多原子離子干擾，同時保持碰撞反應池內的副產物最小化。
*的數模信號轉換電路，同時配有*而新穎的檢測器內的變壓器系統，提供快速的模擬信號采集，增加信噪比，改善檢測器在長期使用下的穩定性
多通道緩沖器數據采集，允許快速不間斷的數據采集。
跳峰模式，全掃模式，峰掃描模式，在一次樣品數據采集中，可選用混合掃描數據采集模式，使用集成的軟件進行時序分析。

儀器參數：

背景噪聲220≤5cps
靈敏度：Be≥5，In≥150，Bi≥100檢出限（ng/L) Be≤4，In≤2，Bi≤2
豐度靈敏度IM-1/IM≤1×10-6，IM+1/IM≤5×10-7
氧化物離子產率：156CeO+/140Ce+≤3%或154BaO+/138Ba+≤3%
雙電荷離子產率：69Ba++/138Ba+≤3%
質量穩定性9（Be）±0.05，115（In）±0.05，209（Bi）±0.05
質量分辨率（u）≤0.8
沖洗時間（s）≤60
同位素豐度比測量精度107Ag/109Ag≤0.2% 206Pb/208Pb≤0.2%
短期穩定性≤3.0%；長期穩定性≤5.0%