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品 名:微型氣體過濾器
品 牌: TKF
閥體材質(zhì):316L不銹鋼產(chǎn)品信息:
1、316 L不銹鋼結(jié)構(gòu);
2、高溫動態(tài)壓力應(yīng)用;
3、體積小,沖擊或振動可靠性高;
4、寬范圍流量從30到120 SLPM;
5、與高純度半導(dǎo)體工藝氣體的良好相容性;
6、3納米顆粒過濾性能保持高效率和最小壓降;
7、5ra電拋光表面防止內(nèi)部污染;
8、DI水清洗后用熱氮烘焙,達到半導(dǎo)體工藝標準;
9、100級制造、清潔及包裝環(huán)境;
10、99%氦泄漏試驗。