機構·方式 | 多孔質靜壓空氣軸承 · 工作臺回轉式 |
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半徑方向 回轉精度 | (0.02+0.0003H)µm (EC2500H) (0.015+0.0003H)µm (EC2700H) |
測定徑 測定高度 | 內外徑都是?450mm 外徑570mm, 內徑420mm |
裝載徑/積載重量 | ?600mm/60kg |
上下移動量 | 400mm (使用b觸針臂時) |
回轉軸輪與上下 移動部的平行度 | 0.4µm/200mm |
機構·方式 | 多孔質靜壓空氣軸承 · 工作臺回轉式 |
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半徑方向 回轉精度 | (0.02+0.0003H)µm (EC2500H) (0.015+0.0003H)µm (EC2700H) |
測定徑 測定高度 | 內外徑都是?450mm 外徑570mm, 內徑420mm |
裝載徑/積載重量 | ?600mm/60kg |
上下移動量 | 400mm (使用b觸針臂時) |
回轉軸輪與上下 移動部的平行度 | 0.4µm/200mm |
產品名稱 | 參考價 | 地區 | 公司名稱 | 更新時間 | |
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