適用于光學(xué)、半導(dǎo)體及FPD應(yīng)用—島津UV-VIS-NIR分光光度計(jì)
FPD：
材料評估中NIR和大樣品的高靈敏度測定。
半導(dǎo)體：
短波長激光和12英寸晶片整體表面的深紫外區(qū)測定。
光通信：
減反射膜NIR高靈敏度測定。
光學(xué)：
從DUV到NIR再到大樣品的高靈敏度分析。
SolidSpec-3700/3700DUV特點(diǎn)
高靈敏度
SolidSpec-3700和3700DUV是臺(tái)使用3個(gè)檢測器的分光光度計(jì)：光電倍增管（PMT）探測器檢測紫外區(qū)和可見光區(qū)，近紅外區(qū)使用InGaAs 和 PbS檢測器。InGaAs 和 PbS檢測器的使用使得近紅外區(qū)域的靈敏度顯著增強(qiáng)。
深紫外區(qū)檢測
SolidSpec-3700DUV具有檢測深紫外區(qū)的能力，可測定至165nm或175nm的積分球。此檢測是用氮?dú)獯祾吖馐液蜆悠肥疫M(jìn)行的。注： 165nm是SolidSpec-3700DUV使用直接受光單元DDU-DUV測定）的最短波長。
大樣品室
大樣品室（900W x 700D x 350H mm) 可在不損傷大樣品的前提下進(jìn)行檢測。其垂直光路可直接測量大樣品同時(shí)保持它們的水平狀態(tài)。使用自動(dòng)X-Y樣品臺(tái)（選配）測定樣品的尺寸是12英寸或310×310mm。
Optional Accessories選配組件
Direct Detection Unit DDU/DDU-DUV (for liquid/solid transmission measurements)直接受光單元DDU/DDU-DUV對于液、固樣品透過率測定
自動(dòng)X-Y樣品臺(tái)（自動(dòng)測量）
大型鏡面反射附件
氮?dú)饬髁垦b置
鏡面反射附件(5°12°30°45°)
積分球刪除樣品盤
一體軟件
SolidSpec-3700/3700DUV的UVProbe軟件包括光譜模塊，光度模塊，動(dòng)力學(xué)及報(bào)告模塊等功能。多重的安全性及可追蹤性以確保刪除數(shù)據(jù)的可靠性。
高靈敏度檢測
為進(jìn)行深紫外區(qū)的測定，檢測器的窗口和積分球內(nèi)壁均使用不吸收深紫外光的材料，SolidSpec-3700DUV的PMT檢測器使用特制熔融石英作為窗口材料，積分球內(nèi)壁使用深紫外區(qū)具有高反射性能的特殊樹脂。
深紫外區(qū)高靈敏度和低雜散光測定
SolidSpec-3700/3700DUV配有大樣品室，可使大樣品進(jìn)行無損檢測。其內(nèi)部尺寸為900W x 700D x 350H。
可測定的樣品尺寸700W x 560D x 40H mm。樣品尺寸為12英寸或310 x 310 mm的樣品可用自動(dòng)X-Y樣品臺(tái)（選配）
使用X-Y樣品臺(tái)的大樣品室
自動(dòng)檢測
為SolidSpec-3700/3700DUV研發(fā)的自動(dòng)X-Y樣品臺(tái)可對提前點(diǎn)進(jìn)行自動(dòng)檢測，同時(shí)又可進(jìn)行氮?dú)獯祾摺?/p>
