● 直接熱式原理，無(wú)層流元件                              
● 無(wú)壓損,抗結(jié)晶,抗腐蝕
● 適用于各種低壓和高壓管道                                                                       V10FD-R直接熱式流量計(jì)
● 預(yù)熱時(shí)間短,零漂小，可靠性高
● 數(shù)模兼容,可使用二次表或計(jì)算機(jī)控制和顯示流量
● 內(nèi)置閥控指示燈/通訊指示燈/流量指示燈
● 內(nèi)置4種氣體,無(wú)比熱容附加誤差,不影響精度

   V10FD-R直接熱式MFC/MFM采用熱式測(cè)量原理，直接

用兩支快速反應(yīng)的鎧裝傳感器測(cè)量氣體流量。該產(chǎn)品為模擬

和數(shù)字兼容型設(shè)計(jì)：可通過(guò)模擬型二次表或PLC進(jìn)行設(shè)定和

顯示瞬時(shí)流量；也可通過(guò)數(shù)字接口直接與計(jì)算機(jī)進(jìn)行通訊。

具有通用于模擬型控制系統(tǒng)和數(shù)字型控制系統(tǒng)的特點(diǎn)。
        該產(chǎn)品采用多氣體多量程的設(shè)計(jì)便于用戶現(xiàn)場(chǎng)配置流量計(jì)：        

通過(guò)撥碼開(kāi)關(guān)可以現(xiàn)場(chǎng)選擇四種測(cè)量氣體，每種氣體有3種校          

準(zhǔn)量程，六個(gè)LED指示燈可以較直觀的顯示V10FD-L的各種

工作狀態(tài)。如果需要對(duì)氣體流量進(jìn)行控制時(shí),還可以加裝電磁比      

例調(diào)節(jié)閥和內(nèi)置PID調(diào)節(jié)功能。

產(chǎn)品應(yīng)用                                                                                                                   V10FD-R直接熱式控制器

真空 鍍膜 太陽(yáng)能 半導(dǎo)體 石油石化
煤炭冶金 制氣配氣 環(huán)保 各種分析儀器

技術(shù)參數(shù)

技術(shù)指標(biāo):     V10FD-RC質(zhì)量流量控制器V10FD-RM質(zhì)量流量計(jì)
量程范圍:     小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～250SLM
測(cè)控范圍:     控制器閥控范圍50:1 流量計(jì)量程比100:1
準(zhǔn) 確 度:     流量：±3%讀數(shù)±0.2%滿量程
              壓力：0.5%F.S 溫度：±1℃
              線性±0.5%F.S
重復(fù)精度:     ±0.2%F.S
響應(yīng)時(shí)間:     100ms 10ms
數(shù) 字 量:     RS232/485，MODBUS協(xié)議
模 擬 量:     0～5V、4～20mA、1～5V
供    電:     24V/±15V可選
工作溫度:     0～50℃
工作壓力:     工作壓差：0.03～0.5MPa 工作壓降：<0.01Mpa
耐壓:     3MPa
電氣連接:     DB15孔
漏    率:     1×10-9SCCSHe
溫度系數(shù):     ±0.015%F.S/℃
底座材質(zhì):     鋁合金或316L不銹鋼
密封材料:     氟橡膠,氯丁橡膠，丁晴橡膠
接    頭:    VCR1/4;swagelokφ6