氣體濃度稀釋配比裝置SSGM:采用全新傳感生產工藝的高精度熱式氣體質量流量控制器等高品質的國產或進口的組件,結合工控液晶觸摸屏幕,圖形化視圖,讓系統運行更穩定、操作更簡便;流量控制部分采用PID閉環控制技術,響應速度快,流量控制穩定、精準;系統中管路接觸部分的材質全部為B*316L不銹鋼,無易損件,經久耐用,后期設備維護成本極低。
氣體濃度稀釋配比裝置SSGM:廣泛應用于SPUTTER磁控濺射臺、等離子刻蝕、石油化工、高校實驗室、科研單位、航空航天、光伏行業、半導體行業、真空鍍膜行業、光電產業到工業工具的表面鍍膜、PVD、CVD、MOCVD、氧化、離子注入、精密半導體、燃料電池、氣調儲存保鮮相關設備、生物反應器、生物過程控制器、食品及制藥產業、氣相色譜儀等相關行業。