高精度定位臺(tái)Q-max是美國(guó)Nutec公司制造的高分辨率超級(jí)耐用定位工作臺(tái)，它在水平或垂直方向均可提供短行程高精度定位并保持高精度軌跡控制。
高精度定位臺(tái)Q-max應(yīng)用
高精度定位臺(tái)Q-max非常適合精準(zhǔn)軌跡控制的應(yīng)用,比如半導(dǎo)體光學(xué)測(cè)量,平板顯示測(cè)量,微電子測(cè)量設(shè)備,也作為OEM定位器件集成到這些大系統(tǒng)中,在范圍內(nèi)作為OEM器件存在40萬(wàn)套的銷量。上客戶用高精度定位臺(tái)Q-max在微電子晶圓制造中對(duì)液體精密加注,在激光和光學(xué)領(lǐng)域,科學(xué)家使用它精密控制光路等。
高精度定位臺(tái)Q-max特點(diǎn)
精密定位臺(tái)具有25mm, 50mm 和100mm行程范圍
集成高精度線性編碼器，分辨率高達(dá)12.5nm
Quad-Vee Lock needle傳導(dǎo)系統(tǒng)提供恒定支持
滾珠絲杠或滾柱絲杠傳導(dǎo)，滯帶最小
重復(fù)精度高達(dá)亞納米，特別適合Z軸或垂直應(yīng)用
高精度定位臺(tái)Q-max規(guī)格參數(shù)
行程范圍：25mm,50mm,100mm
驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)：滾珠BSM40
滾珠間距：1mm
加速度：受負(fù)載影響
速度：30mm/s
建議負(fù)載：15kg (QMX-25), 30kg(QMX-50),35kg(QMX-100)
反饋系統(tǒng)：非接觸式線性編碼器系統(tǒng)
重復(fù)精度：<=100nm
| 型號(hào) | QMX-25 | QMX-50 | QMX-100 |
|---|---|---|---|
| 行程 | 25 mm | 50 mm | 100 mm |
| 軌跡控制 | |||
| 精度 | |||
| 標(biāo)準(zhǔn)版精度 | ± 2.0 µm | ± 3.0 µm | ± 4.0 µm |
| 高精度版精度 | ± 0.5 µm | ± 1.0 µm | ± 1.5 µm |
| 直線度/平整度 | |||
| 標(biāo)準(zhǔn)版直線度/平整度 | ± 1.0 µm | ± 2.0 µm | ± 3.0 µm |
| 高精度版直線度/平整度 | ±0.5µm | ±0.5µm | ±0.5µm |
| Yaw/Pitch/Roll | |||
| 標(biāo)準(zhǔn)版Yaw/Pitch/Roll | 5 arc-sec | 7.5 arc-sec | 9 arc-sec |
| 高精度版Yaw/Pitch/Roll | 4 arc-sec | 5 arc-sec | 6 arc-sec |
| *精度Yaw/Pitch/Roll* | 3 arc-sec | 4 arc-sec | 5 arc-sec |
| 分辨率 | |||
| 線性編碼器 | 標(biāo)準(zhǔn)品 | 50nm | |
| 可選參數(shù) | 聯(lián)系我們索取 | ||
| 旋轉(zhuǎn)編碼器 | @1 mm lead | 100nm | |
| @5 mm lead | 50.8nm | ||
| XY二維定位臺(tái)系統(tǒng) | |||
| 標(biāo)準(zhǔn)品正交性 | 20 arc-sec | 20 arc-sec | 20 arc-sec |
| 高精度版正交性 | 10 arc-sec | 10 arc-sec | 10 arc-sec |
| *精度版正交性 | 5 arc-sec | 5 arc-sec | 5 arc-sec |
