FS4000系列小流量氣體質量流量傳感器

.專為管徑3，和8，的氣管中的低壓氣體流量測而設計
.支持多種連接方式易于安裝與使用
.傳感芯片采用熱質流盆計.無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計，
.在單個芯片上實現了多傳感器集成，使其雖程比達到了100:1甚至更高
.輸出方式靈活.既可通過通訊接口主動上傳數據或由上位機查詢輸出數據.也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
.零點穩定度高
.全量程高穩定性、高精確度和優良的重復性
.低功耗、低壓損
.口向應速度快

小流量氣體質量流量傳感器

小流量氣體傳感器均采用（MEMS）流量傳感芯片來制作。產品適用于各類清潔氣體的應用。*的封裝技術使之可應用于各類管徑（3～50mm）。成本低、易安裝、不需溫壓補償，可替代容積式或壓差原理的傳統流量計并可配以多種信號輸出，通過通訊接口實現網絡管理功能。

產品特點

傳感器靈敏度搞，的始動流量

傳感芯片采用熱質量流量計量，無需溫度及壓力補償，保障了傳感器的高精度計量

在單個芯片上實現了多傳感器集成，使傳感器的量程比大大提高

8～24V供電

傳感器零點穩定度較傳統的熱式質量流量計有的改善

結合二次儀表的微控制器智能技術，使該流量傳感器重復性好，實現了計量準確可靠

*的封裝技術采用直接測量，無需旁路，壓力損失大幅度減小

與智能流量計算機相連，可遠傳數據，也可現場顯示

本傳感器有RS485通訊模塊，配合上位計算機網絡可實現集中管理
用戶根據需要可以選擇4～20mA輸出、電平輸出或脈沖輸出模塊
體積小、安裝方便
可用于小至3mm的管徑，特別對于微流量測量和控制有其*的*性

FSG 系列小流量氣體質量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用自主研發的微機電系統（ MEMS ）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。*的封裝技術使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量計并配以多種信號輸出，通過通訊接口可實現網絡化管理功能。

產品特點：

傳感器靈敏度高，有的始動流量

傳感器芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量

在單個芯片上實現了多傳感器集成，使傳感器的量程比大大提高；

傳感器的零點穩定度高

全量程高穩定性

全量程高精確度和優良的重復性

低功耗

低壓損

響應時間快