氣體質量流量控制器 型號:KM12-CS50庫號：M390287

產品特點

安裝方便,無安裝位置和直管段要求,操作簡單,可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使 用,也可通過模擬數字信號轉換器( AD/DA轉換器)配合計算機使用。

流量規格(N2標定)

0~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

0~ 1.,2,3,5,10,20,30 SLM

注:滿量程流量不限于此處列出的流量規格,可以在5SCCM ~ 30SLM范圍內任選,例如123SCCM。

輸入輸出信號

0~ +5.00V (輸入阻抗大于100kQ ,輸出電流不大于3mA)

流量規格1:（N2)產品特點

本產品具有穩定、響應時間短、標定精度和重復精度高等優點,安裝方便,無安裝位置和直管段要求,操作簡單,可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使 用,也可通過模擬數字信號轉換器( AD/DA轉換器)配合計算機使用。

流量規格(N2標定)

0~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

0~ 1.,2,3,5,10,20,30 SLM

注:滿量程流量不限于此處列出的流量規格,可以在5SCCM ~ 30SLM范圍內任選,例如123SCCM。

輸入輸出信號

0~ +5.00V (輸入阻抗大于100kQ ,輸出電流不大于3mA)

流量規格：0-5 10 20 30 50 100 200 300 500 SCCM

調節閥類型：常閉型

量程比：2-FS或者50:1

流量分辨率：0.1%FS

準確度：1%FS 小于15SLM

2%FS 大于15SLM

線性：0.5%FS 小于15SLM

2%FS 大于15SLM

重復精度：0.2%FS

相應時間：小于2S

工作壓差范圍：0.1-0.5MPA 小于10SLM

0.1-0.3MPA 大于10SLM

大耐壓：3MPA

工作環境：5-45度

電纜接頭：DB15pin(針形）

輸入輸出信號：0-5V（輸入抗阻大于100K歐 輸出電流不大于3MA）

供電電源要求：+15VDC 80MA -15VDC 2000MA