東京精密accretech表面粗糙度測量儀可測樣
東京精密粗糙度儀SURFCOM NEX 030 ／ 040 為了保證向上測量和向下測量
的空間精度所使用的校正單元，在校正測針向上/ 向下時的參
數（ 縱軸感度?圓弧補正?測針先端半徑補正） 時使用。
尺寸 150（W）×120（D）×230（H）mm
重量 約3.3Kg
東京精密accretech表面粗糙度測量儀可測樣
輪廓測量尺寸、形狀分析 具有超高便利性的通用輪廓測量傳感器
輪廓測量 通用傳感器 NEX 030 E-DT-CH18B 同等級高精度的通用傳感器 搭載了高精度光柵尺的通用型傳感器。 Z 軸測量范圍60mm，新開發的快速更換測臂機構，使得測臂更換簡單方便。可選配上下同時測量 輪廓測量 高精度傳感器 NEX 040 E-DT-CH19B 實現測力自動調整機構的高精度傳感器 搭載了新型激光衍射光柵尺的高精度傳感器，全范圍的測量分辨率為0.02μm。Z軸測量 范圍為60 mm，在快速更換測臂機構上更添加了測力自動調整機構。可選 配上下同時測量 測量分辨率 0.04 μm （全量程） 指示精度 ±（1.5 + |2H|/100） μm
東京精密accretech表面粗糙度測量儀可測樣
輪廓測量 高精度傳感器 NEX 040 E-DT-CH19B 實現測力自動調整機構的高精度傳感器 搭載了新型激光衍射光柵尺的高精度傳感器，全范圍的測量分辨率為0.02μm。Z軸測量 范圍為60 mm，在快速更換測臂機構上更添加了測力自動調整機構。可選 配上下同時測量 測量分辨率 0.04 μm （全量程） 指示精度 ±（1.5 + |2H|/100） μm 測量分辨率 0.02 μm （全量程） 指示精度 ±（0.8 + |2H|/100）μm
