硅微通道芯片
產品簡介:
硅微通道芯片,是半導體材質芯片,和傳統的IC工藝能很好的兼容,有利于多功能芯片的集成,尤其是硅基芯片可以很好的引入電學控制單元。目前,我公司是通過濕法腐蝕(酸/堿)得到的特異性芯片截面結構,其中酸法腐蝕得到的芯片結構為U型,堿法腐蝕得到的芯片結構為V型。同時,我們為客戶提供不同的芯片訂制服務,以滿足不同的客戶要求。
優點:
1. 通道表面結構良好;
2. 易于集成;
3. 半導體硅基材質。
加工規格:
1. 酸/堿法腐蝕硅片寬深比接近2:1;
2. 通道表面粗糙度約為Ra=2um。
標簽:   微流控 微流控芯片 微硅通道芯片