高低溫真空磁場(chǎng)探針臺(tái)
產(chǎn)品概述：
高低溫真空磁場(chǎng)探針臺(tái)是具備提供高低溫、真空以及磁場(chǎng)環(huán)境的高精度實(shí)驗(yàn)臺(tái)，它的諸多設(shè)計(jì)都是的。因此，高低溫磁場(chǎng)探針臺(tái)的配置主要是根據(jù)用戶的需求進(jìn)行選配及設(shè)計(jì)。例如，要求的磁場(chǎng)值，均勻區(qū)大小、均勻度大小、樣品臺(tái)的尺寸等，均于磁力線在一定區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生的磁通密度相關(guān)聯(lián)；位移臺(tái)還可與磁流體密封搭配，實(shí)現(xiàn)水平方向二維移動(dòng)和樣品臺(tái)360度轉(zhuǎn)動(dòng)；除此之外，該探針臺(tái)和我司自主研發(fā)的高精度雙極性恒流電源搭配使用戶，可以磁場(chǎng)的高穩(wěn)定性。因此，該類型的探針臺(tái)主要依據(jù)客戶的使用情況進(jìn)行設(shè)計(jì)優(yōu)化。
探針臺(tái)配備4個(gè)（可選6個(gè)或8個(gè)）擁有高精度位移的探針臂，同時(shí)配有高精度電子顯微鏡，便于微小樣品的觀察操作。探針可通過(guò)直流或者低頻交流信號(hào)，用來(lái)測(cè)試芯片、晶圓片、封裝器件等，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、MEMS 、超導(dǎo)、電子學(xué)、鐵電子學(xué)、物理學(xué)、材料學(xué)和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。
應(yīng)用范圍：
磁特性測(cè)試、微波特性測(cè)試、直流、RF特性測(cè)試，微電子機(jī)械系統(tǒng)，超導(dǎo)電性測(cè)試，納米電路的光電屬性，量子點(diǎn)和線，高低溫真空環(huán)境下的芯片測(cè)試，材料測(cè)試，霍爾測(cè)試，電磁輸運(yùn)特性等。
可選附件：
t 各類DC探針、高頻探針、主動(dòng)式探針、電纜線
t CCD或C-MOS視頻成像裝置
t Chuck運(yùn)動(dòng)裝置
t 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)
t 1Mpa正壓系統(tǒng)升級(jí)
t 超高溫升級(jí)選件
t 超高真空升級(jí)選件
t 各類探針夾具
t 屏蔽箱
t 防振桌
t 轉(zhuǎn)接頭
t *真空泵
技術(shù)指標(biāo)：
高低溫真空磁場(chǎng)探針臺(tái) 型號(hào) T8-EM4 T8-EM5 T8-EM7 真空度 上等高達(dá)真空10-8Pa 腔體材質(zhì) 無(wú)磁不銹鋼或者鋁合金 磁場(chǎng)范圍 2000Gs @50mm 5000Gs@50mm 1T@50mm 磁場(chǎng)方向 水平（可按用戶要求設(shè)計(jì)成豎直方向的） 配套電源 雙極性電源±50A 雙極性電源±70A 雙極性電源±90A 電源穩(wěn)定性 50ppm（可選10ppm） 制冷方式 液氦/液氮制冷/閉循環(huán)制冷機(jī) 溫度范圍 5K-325K可選500K 控溫分辨率 0.001K控溫儀相關(guān) 溫度穩(wěn)定性 優(yōu)于0.1K依賴于控溫儀 溫度傳感器 硅二極管/PT100/CernoxTM 傳感器數(shù)量 樣品臺(tái)、防輻射屏、探針臂各一個(gè) 樣品臺(tái)尺寸（max） Φ50mm，平整度≤7μm 樣品臺(tái)固定方式 真空硅脂/彈簧壓片 樣品臺(tái)材質(zhì) 鍍金無(wú)氧銅 顯微鏡行程 X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm 放大倍數(shù) 16~100X/20~4000X 真空腔觀察窗尺寸 1inch 1.5inch 2inch 窗口材料 熔融石英（可選K9、氟化鈣等） 探針臂數(shù)量 2、4、6、8可選 探針臂行程 (X-Y-Z)25mm-25mm-12mm可更換 位移精度 10μm /2μm/1μm/0.7μm可選 接口形式 普通真空接頭/三同軸接頭/BNC/SMA等 探針直徑 0.51mm 針尖直徑 10μm/5μm/1μm可選 探針材料 鎢/GGB 供電電壓 AC220V 50Hz/60Hz AC380V 50Hz/60Hz
