西門子Siemens超聲波流量計的原理根據超聲波水位流量計采用超聲測距法測量液位。探頭安裝在量水堰槽水位觀測點上方。探頭向水面發射超聲波，超聲波的能量被水面反射，經過時間 T 被探頭接受。根據超聲波的傳播速度和經過的時間 T，儀表經過運算后得出渠道水深 H。計算公式如下：H=L-D=L-V*T/2=L-（V0+at）*T/2
其中：H 表示所求液位的高度；L 表示超聲探頭與明渠底部之間的距離，
V 表示空氣中的超聲波聲速，
T 為超聲波一個回程經過的時間, V0表示 0℃時超聲波在空氣中的傳播速度，
a 為超聲波速度的溫度系數，
t 為溫度。由上式可知，在 L 已知的情況下液位測量的精度取決于超聲波聲速 v 的測量精度和超聲波傳播時間的測量精度。
氣體超聲波流量計的測量準確度受下列諸因素的影響：流量計殼體幾何尺寸和超聲傳感器位置的參數的準確性；流量計所采用的積分技術；速度分列剖面的質量、氣流的脈動程度和氣體的均勻性；傳播時間測量的準確度。
西門子Siemens超聲波流量計傳播時間測量的準確度又取決于電子時鐘的穩定性、對聲波脈沖參考位置檢測的*性及對電子元件和傳感器信號滯后的適當補償。氣體超聲波流量計的準確度不僅同流速有關，而且同儀表口徑有關。對于小口徑儀表，由于聲道長度較短，在紊流氣體中測量聲波傳播時間比較困難，因此小口徑氣體超聲波流量計的準確度較難提高
