X射線管位于分析樣品上方，減少了真空室內飄散粉末損壞光管的風險，并且無需在進行粉末樣品分析時使用粘合劑，使樣品制備更快捷簡便。
可在慢速和快速直接切換抽真空和卸真空速率，使粉末和金屬樣品的樣品處理量達到。
特點
實現粉末、固體樣品不同元素不同含量的高精度分析
高精度定位樣品臺滿足合金分析高精度要求
特殊光學系統減少樣品表面不平而引起的誤差
樣品室可簡單移出方便清潔
操作界面簡潔、自動化程度高
ZSX Primus III +
Rigaku ZSX Primus III +以很少的標準在各種樣品類型中快速定量測定從氧氣（O）到鈾（U）的主要和次要原子元素。
高于光學元件的管道，可靠性更高
ZSX Primus III +具有創新的光學上述配置。由于樣品室的維護，再也不用擔心被污染的光束路徑或停機時間。光學元件以上的幾何結構消除了清潔問題并延長了使用時間。
高精度樣品定位
樣品的高精度定位確保樣品表面與X射線管之間的距離保持恒定。這對于要求高精度的應用很重要，例如合金分析。ZSX Primus III +采用*的光學配置進行高精度分析，旨在大限度地減少樣品中非平坦表面引起的誤差，如熔融珠和壓制顆粒
使用EZ-scan軟件的SQX基本參數
EZ掃描允許用戶在未事先設置的情況下分析未知樣品。節省時間功能只需點擊幾下鼠標并輸入樣品名稱。結合SQX基本參數軟件，它可以提供準確，速的XRF結果。SQX能夠自動校正所有的矩陣效應，包括線重疊。SQX還可以校正光電子（光和超輕元素），不同氣氛，雜質和不同樣品尺寸的二次激發效應。使用匹配庫和完美的掃描分析程序可以提高準確度。
特征
元素從O到U的分析
管道上方的光學器件使污染問題小化
占地面積小，使用的實驗室空間有限
高精度樣品定位
特殊光學元件可減少曲面樣品表面造成的誤差
統計過程控制軟件工具（SPC）
吞吐量可以優化疏散和真空泄漏率
