天津瑞利光電科技有限公司優勢經銷德國Cyber Technologies厚度測量儀CT系列
產品型號:CT 350T
德國Cyber Technologies厚度測量儀CT系列
關鍵字描述:運動系統使用快速,準確的磁性直線電機。通過以4 kHz的數據速率觸發彩色白光傳感器,可以將檢查時間更小化。
產品介紹:
快速準確的雙面掃描系統
測量速度:2 kHz / 4 kHz / 20 kHz
在x和y方向上移動300 mm(200 mm),橫向分辨率為50 nm,電動z軸分辨率為20 nm
2D輪廓,3D地形圖和3D厚度圖
掃描范圍大
x,y,z分辨率,行程為max.300 mm(200 mm)
零件厚度max.80 mm
彩色白光傳感器
高分辨率離軸相機
CT 350T是一款非接觸式雙面光學輪廓儀,具有300毫米x,y掃描臺。頂部和底部傳感器安裝在行程為100 mm的高精度Z軸上。雙面自動對焦功能甚至可以測量嚴重彎曲或彎曲的零件。兩個傳感器均收集與x,y編碼器信號同步的高度數據,并軸向對齊以確保精確的差分厚度測量。該軟件同時從頂部和底部表面生成2D輪廓和3D貼圖,并計算相應的總厚度輪廓或貼圖。
運動系統使用快速,準確的磁性直線電機。通過以4 kHz的數據速率觸發彩色白光傳感器,可以將檢查時間更小化。通過在平臺孔上安裝轉接板,該系統可以用作標準光學表面輪廓儀,使CT 350T成為功能廣泛的表面和厚度測量系統。該系統也有較小的版本,如CT 250T,具有200 mm的行程,非常適合8英寸晶圓或基板和太陽能晶圓。
參數:
集成系統控制器:包括運動控制,傳感器控制器(4 kHz),電源,工作站的USB接口
工作站電腦:查詢當前規格,22英寸寬屏顯示器
連接方式:以太網,DVD驅動器,USB(正面和背面),并行端口,鍵盤,鼠標,DVI和模擬視頻輸出
我們的宗旨:信義為根,嚴謹為本,凝心聚力,行思行遠
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