THz掃描Fabry-Perot干涉儀（TSFPI）用于測量窄帶THz輻射的波長和強度。TSFPI可以用于測量脈沖和連續窄帶THz輻射。由兩片半透明平行硅鏡組成，其中一片安裝在電機驅動線形驅動器上。THz輻射參數的測量通過可移動鏡片的平移（掃描）來實現，如下圖1：

圖1：SFPI原理圖

SFPI可以用于以下源的測量：

· 振動陀螺儀

· 光學泵浦亞毫米波激光器

· 反響波振蕩器

· 自由電子激光器

· 差頻THz產生器

· 混頻THz產生器

· 量子級聯激光器

· p-Ge激光器

· 新型THz輻射源

THz掃描F-P干涉儀還可以用于測量寬帶THz源的波長和強度，每個F-P干涉儀透過光譜過濾THz輻射，如圖2。

圖2：使用MenloSystems TERA K8 TDS光譜儀測量TSFPI透過光譜@500μm鏡片間距

TSFPI支持很多鏡片移動模式，例如移動到位置，移動到舉例，連續和周期移動。鏡片移動速度，移動間隔，開始和結束位置等都可調。

圖3為使用TSFPI測量光學泵浦亞毫米波激光器波長的測量結果。圖上可以看出，相鄰TSFPI透過大距離約為216μm（433μm-216μm=217μm；647μm-433μm=214μm；865μm-647μm=218μm），對應激光器的半波長。這個結果與TSFPI透過率大理論值相符：λ=2*d/m，d是TSFPI兩個鏡片間距，m是干涉級次，λ是測量波長。

圖3：光聲探測器Tydex GP-1P探測到信號幅度和TSFPI鏡片間距的關系，THz輻射通過光泵浦亞毫米波激光器產生，λlas= 432 μm

性能參數：

主要特點：

· 寬工作范圍0.1-15THz

· 高擊穿閾值

· 大口徑52mm

· 高鏡片位置精度±1.25μm

· 使用簡單

TSFPI包裝包括以下部分：

· TSFPI干涉儀單元

· 供電和控制單元

· 鏡片位移控制軟件

· 連線

· 使用說明

TSFPI以下附件需要單獨購買：

· 光聲Golay探測器GC-1P/T/D

· BPF（帶通濾波片）在0.1-15THz之間波長

· LPF（短波通濾光片）濾除IR輻射，截止頻率為23.4THz，23.3THz，23.1THz，14.3THz，10.9THz，8.8THz，5.5THz，4.3THz，4THz，3.2THz。

· 一套衰減器具有1%，3%，10%，30%透過率

· TPX和HRFZ-Si透鏡