制氧廠氮氣氧氣氬氣氣體質量流量計是基于熱擴散原理而設計，該儀表采用恒溫差法對氣體進行準確測量，傳感器部分有兩個基準級鉑電阻溫度傳感器組成.其中一個傳感器被加熱到環境溫度以上的的溫度，另一個溫度傳感器用于感應介質溫度。介質流速增加，介質帶走的熱量增多，兩個溫度傳感器的溫度差將隨介質的流速變化而變化，根據溫度差與介質流速的比例關系，可得出流體的流量Q。
制氧廠氮氣氧氣氬氣氣體質量流量計產品特點：
1、質量流量計，對氣體流量測量無需溫度和壓力補償，測量方便、準確。可得到氣體的質量流量或者標態流量。
2、寬量程比，可測量流速高至100Nm/s低至0.5Nm/s的氣體，可用于氣體檢漏檢測。
3,、抗震性好使用壽命長。傳感器無活動部件和壓力傳感部件，不受震動對測量精度的影響。
4、安裝維修簡單方便。無可動部件，密封面減少，降低泄漏率，便于安裝和日常維護;在現場條件允許的前提下，可以實現不停產安裝和維護（需特殊定制）
5、數字化設計，整體數字化電路測量、測量準確、維修方便。
6、儀表供電兩線制DC24V、AC220V可選，現場配套經濟方便。輸出信號4-20mA 可選p配RS-485、HART通訊，可以實現工廠自動化、集成化。
