MT-30ASERIES  

→低價格，高性能

→MT-30A模擬式系列

→熱式之質量流量計/流量控制器

概要：

MT-30A系列質量流量計/控制器由質量流量傳感器，

分流器通道，流量控制調節閥和放大控制電路等部

件組成。

本流量控制器利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細

管壁溫度分布的熱傳導分布效應爾制成

采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流

量，可以不受溫度壓力的影響，將傳感器測得得流

量信號進行放大，然后與設定的電壓值進行比較，

用所得的差值信號去驅動控制調節閥門，閉環控制

流過通道的流量使之與設定的流量相等。

●標準

本公司產品采用中華人民共和國電子行業標準

SJ/T10583-94 以及SJ37 所規定的通用技術條      產品尺寸127×28×100mm

件和命名方法。

質量流量控制器出廠通常用氮氣（N2）標定。      型號選型

質量流量的單位規定為：SCCM(標準毫升/分)

 SLM(標準升/分)

標準狀態規定為：溫度--273.15K( 0℃ )

氣壓--101325pa(760mm Hg)  F.S(Full Scale):滿量程值

特點：

MT-30A系列可應用在5SCCM-30SLM的氣體流量范圍

并且不會受到溫度及壓力變化的影響，應用范圍廣

●模擬式質量流量計/控制器

·低單價 ·環境溫度補正 ·可應用流量范圍廣   

·0-5，10，20，30，50，100，200，500SCCM

·0-1, 2 , 3 , 5 , 10, 20 , 30SLM

●高精度

·±1%F.S（≤15SLM） ·±2%F.S（＞15SLM）

●小體積

●可選用MT-1A流量顯示儀或MT-1B流量積算儀配

套使用。

●輸入，輸出，供電

·輸入設定電壓…………0～+5.00V

·輸出電壓檢測…………0～+5.00V

●基本參數