全套機組由羅茨泵、旋片泵、管道、閥門、電控箱等組成。其極限壓力可達5.0＊ 10-2Pa 高真空油擴散泵機組是以高真空油擴散泵為主泵的一套完整的抽氣系統，擴散泵采用五級拉伸技術，泵的極限壓力5.0＊ 10-5Pa，返油率低，抽速大，高真空機組極限壓力可達3.0＊ 10-4Pa。
高真空油擴散泵機組被廣泛的應用于電子、冶金、化工、原子能工程及空間模擬等領域。
高真空油擴散泵性能指標：
型 號 ； ； ； ； ；極限壓Pa ； ； ； ；抽速L/s ； ； ；主泵加熱功率kW
KT-200 ； ； ； ；8.0×10-5 ； ； ； ；2000 ； ； ； ； ； ；1.8
KT-300 ； ； ； ；8.0×10-5 ； ； ； ；4500 ； ； ； ； ； ；3
KT-320 ； ； ； ；5.5×10-5 ； ； ； ；5000 ； ； ； ； ； ；4
KT-400 ； ； ； ；5.5×10-5 ； ； ； ；8000 ； ； ； ； ； ；4.5
KT-500 ； ； ； ；5.5×10-5 ； ； ； ；12500 ； ； ； ； ；6.9
KT-600 ； ； ； ；5.5×10-5 ； ； ； ；18000 ； ； ； ； ；8.4
KT-800 ； ； ； ；5.5×10-5 ； ； ； ；28000 ； ； ； ； ；16
KT-1000 ； ； ；5.5×10-5 ； ； ； ；40000 ； ； ； ； ；24
