美國ALICAT-BASIS系列質量流量控制器為用戶提供
可重復、可靠、經濟的氣體流量控制方案。專為OEM
設備集成而設計的BASIS輕便靈巧、內置高精度MEMS
傳感器，適合各類小型設備配套使用
BASIS質量流量控制器應用范圍相當廣，輕便靈巧、
多氣體標定、模擬及數字雙重通訊將為您的項目
設計提供更大的靈活性。
性能/參數 | BASIS系列質量流量控制器-OEM |
流量范圍 | 0-100SCCM、1000SCCM、20SLPM、50SLPM |
標定氣體 | 內置7條氣體可選擇 |
精度(調零后) | ±(1.5%Rd+0.5%FS) |
重復性 | ±0.5%Rd |
漂移(零點/滿量程) | 0.02% F.S/ºC/Atm |
工作范圍 | 1- |
響應時間 | 100毫秒(調整) |
啟動預熱時間 | 1秒內 |
標準工況 | 25ºC & 14.696 psia |
工作溫度范圍 | 0~-50℃(另有高溫訂制品) |
工作濕度范圍 | 0-90%RH(非冷凝) |
耐壓 | 10Bar |
進口工作壓力 | 4Bar內 |
安裝方向 | 任意 |
閥門狀態 | 常閉 |
材質 | SUS不銹鋼、密封圈VITON |
數字信號 | RS485(ACSII、MODBUS-RTU) |
模擬信號 | 標準0-5V 選配:4-20mA |
電氣接口 | 標準DB9 |
供電電壓 | +24VDC，200mA |
