金屬密封，泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
適用于高真空、半導體、劇毒、強腐蝕氣體環境下
±15VDC供電性能穩定，0-5V模擬信號更加通用
5400質量流量控制器 | |
量程(N2) | 10SCCM-20SLPM(另外50SLM) |
精度 | ±1.0%FS |
重復性 | ±0.2%FS |
響應時間 | 1秒以內 |
耐壓 | 1.0Mpa |
進口大壓力 | O.3Mpa |
動作壓差 | 0.05-0.3Mpa |
泄漏率 | 1*10-11pa·m³/s以下 |
溫度范圍 | 5-45℃ |
濕度范圍 | 10-90%RH(不能結露) |
材質 | 本體SUS316L |
密封圈SUS316L、PTFE | |
電氣接口 | DB9 |
模擬信號 | 0-5V輸入/輸出 |
供電 | +15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA； |
管路連接 | 標配1/4UJR |
選配1/8UJR | |
重量 | 約1000g |
一：進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質粉塵不超過20微米》。
二：用肥皂水對管路進行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。
三：安裝前，請將設備管路進行整體吹掃。
四：耐壓1.0Mpa，進口大壓力3公斤。
五：需要進行零點漂移清零的時候，確認進/出口沒流量沒壓力下 再操作。
