全站儀與光學經緯儀區別在于度盤讀數及顯示系統，光學經緯儀的水平度盤和豎直度盤及其讀數裝置是分別采用（編碼盤）或兩個相同的光柵度盤和讀數傳感器進行角度測量的。根據測角精度可分為0.5″，1″，2″，3″，5″，7″等幾個等級。
全站儀的發展經歷了從組合式即光電測距儀與光學經緯儀組合，或光電測距儀與電子經緯儀組合，到整體式即將光電測距儀的光波發射接收系統的光軸和經緯儀的視軸組合為同軸的整體式全站儀等幾個階段。
初速測儀的距離測量是通過光學方法來實現的，我們稱這種速測儀為“光學速測儀”。實際上，“光學速測儀”是指帶有視距絲的經緯儀，被測點的平面位置由方向測量及光學視距來確定，而程則是用三角測量方法來確定的。
隨著電子測距技術的出現，大大地推動了速測儀的發展。用電磁波測距儀代替光學視距經緯儀，使得測程更大、測量時間更短、精度更。人們將距離由電磁波測距儀測定的速測儀籠統地稱之為“電子速測儀”。
大地測量設備則是由電子測角、電子測距、電子計算和數據存儲單元等組成的三維坐標測量系統，測量結果能自動顯示，并能與外圍設備交換信息的多功能測量儀器。由于大地測量設備較完善地實現了測量和處理過程的電子化和一體化，所以人們也通常稱之為大地測量設備或簡稱全站儀。
