在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度，因為系統(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的工作真空度。一般來講，系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%，比前級泵的極限真空度低50%。
檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因為如果被抽氣體種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng)，泵系統(tǒng)將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產(chǎn)生的氣體量。
貝克真空泵在旋片式真空泵中的功效首要是冷卻、密封性和潤滑,在真空度較高時還起頂開自動排氣閥的功效。進(jìn)油量對旋片式真空泵的真空度有一定的危害。進(jìn)油量過少,形不成油封,保障不了封口功效,貝克真空泵的真空度就降低。進(jìn)油量過少,滿足不了潤滑的標(biāo)準(zhǔn),泵還將會導(dǎo)致超量損壞。進(jìn)油量過多,泵務(wù)必把超量的油排出來, 起了類似于油泵的功效, 為此噪聲提升,耗費功率提升,發(fā)燙厲害,泵油的飽和蒸汽壓上升,黏度降低,油的密封功能減少,泵的真空度也就降低。比如一臺旋片式真空泵, 試制時進(jìn)油孔沒有按圖加工,以至進(jìn)油量過大,使泵氣溫高達(dá)83℃(室內(nèi)溫度25℃),真空度也就達(dá)不到標(biāo)準(zhǔn)。然后把進(jìn)油量適當(dāng)降低,泵溫即降至65℃。為此覺得操縱進(jìn)油量對提升泵的真空度有一定的影響。該真空系統(tǒng)的控制系統(tǒng)由*的PLC控制系統(tǒng)經(jīng)過編程后組成,以觸摸屏為人機(jī)界面,實現(xiàn)對真空系統(tǒng)、工件行走、磁控靶、工藝設(shè)定和執(zhí)行、報警保護(hù)系統(tǒng)等的全自動化控制。
