產(chǎn)品特性
1. 穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)，針座平臺可快速升降和微調(diào)，適合針卡測試
2. 大手柄驅(qū)動(dòng)，操作舒適，無回程差設(shè)計(jì)
3. 兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動(dòng)
4. 芯片內(nèi)部線路/電極/PAD測試
5. VCSEL/LD/LED/PD的光譜波長/光功率測試
6. 高等院校/研究所/工業(yè)用戶實(shí)驗(yàn)室使用
7. 大可用于12英寸以內(nèi)樣品測試
8. VCSEL/LD/LED/PD的LIV/CV特性測試
9.精密絲桿傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng)
主要技術(shù)指標(biāo)
型號 | LS-WPS150-SC | LS-WPS200-SC | LS-WPS300-SC | ||
外形 | 820mm長* 720mm寬* 890mm高 | 960mm長* 850mm寬* 900mm高 | 1300mm長* 920mm寬* 920mm高 | ||
重量 | 約170公斤 | 約230公斤 | 約300公斤 | ||
電力需求 | 220VC, 50~60Hz | ||||
樣品臺 | 尺寸 | 6英寸，可360度旋轉(zhuǎn) | 8英寸，可360度旋轉(zhuǎn) | 12英寸，可360度旋轉(zhuǎn) | |
行程 | X-Y行程6*6英寸 | X-Y行程8*8英寸 | X-Y行程12*12英寸 | ||
移動(dòng)精度 | 1um | ||||
樣品固定方式 | 真空吸附 | ||||
背電極測試功能 | 有，樣品臺電學(xué)獨(dú)立懸空 | ||||
針座平臺 | 規(guī)格 | U型平臺，多可以放置8個(gè)針座 | U型平臺，多可以放置10個(gè)針座 | U型平臺，多可以放置12個(gè)針座 | |
行程&調(diào)節(jié)方式 | 平臺可以快速升降，行程6mm，并帶自動(dòng)鎖定功能；可以上下微調(diào)，行程25mm，升降精度1um | ||||
光學(xué)特性
| 顯微鏡行程 | X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸：50.8mm | |||
顯微鏡移動(dòng)精度 | 1um | ||||
切換鏡頭方式 | 顯微鏡快速傾仰30度 | ||||
放大倍數(shù) | 20~4000X | ||||
鏡頭規(guī)格 | 目鏡：10X; 物鏡：5X, 10X, 20X, 50X, 100X （選配） | ||||
CCD像素 | 50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字） | ||||
點(diǎn)針規(guī)格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm | |||
機(jī)械精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米 | ||||
漏電精度 | 10pA/100fA（配置屏蔽箱時(shí)） | ||||
接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸/SMA/K接口 | ||||
應(yīng)用方向 | 晶圓測試，光電器件測試，PCB/封裝器件測試，射頻測試，高壓/大電流測試等 | ||||
