在大規(guī)模的集成電路超純水水質中，優(yōu)先獲得關注的水質指標為：電阻率、TOC、硅、微粒、重金屬、溶解氧、堿金屬等，這類物質會溶于水中，而在集成電路芯片的制造過程中，使用的水質中所含離子成分越多，則對產品的制造工藝的影響越大，使得產品良率降低。

集成電路的超純水設備常用于工業(yè)半導體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩膜板的制作以及硅片氧化用的水汽源等。此外真空管等的制作、厚膜和薄膜電路、固態(tài)電子器件、印刷電路等也都是需要使用超純水。隨著科技的不斷發(fā)展，集成電路的集成度與日俱增，對水質的要求也隨之增高，從而使得超純水處理工藝及產品的可持續(xù)性、生產的連續(xù)性、設備的自動化和簡易性都提出了更加嚴格的要求。

工藝流程：

原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水點

原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透 →PH調節(jié)→中間水箱→二級反滲透（反滲透膜表面帶正電荷）→純化水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點

原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透機→中間水箱→中間水泵→EDI系統→微孔過濾器→用水點

滲源純水針對于現在的集成電路用超純水設備采用*的全自動雙級反滲透+EDI電除鹽+拋光混床處理技術，在前置預處理部分配套使用反滲透處理，能有效的去除水中各種鹽分和雜質，緊接著使用EDI電除鹽和拋光混床技術，能有效的去除水質的可溶性離子，進一步的提升出水水質，使得出水水質達到用水工藝要求。

設備特點：

1. 采用進口增壓泵，噪音低效率高，穩(wěn)定可靠

2. 全自動電控程序，還可選配觸摸屏操作，使用方便。

3. 采用全自動預處理系統，實現無人化操作，減少人工維護成本。

4. 采用進口反滲透膜，脫鹽率高，使用壽命長，運行成本低廉。

5. 切合當地水質的個性化設計，*滿足需求。

6. 在線水質監(jiān)測控制，實時監(jiān)測水質變化，保障水質安全。

7. 節(jié)省了再生用水及再生污水處理設施，產水率高(可達95%)。

8. 無須酸堿儲備和酸堿稀釋運送設施，使用安全可靠，避免工人接觸酸堿。

9. 簡化安裝過程，降低場地占地面積。

應用領域：

1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水。

2、晶體管生產中主要用于清洗硅片，另有少量用于藥液配制。

3、半導體材料、晶元材料生產、加工、清洗。

4、集成電路生產中高純水清洗硅片。

5、電子管生產、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液。

6、光電產品、其他高科技精微產品 。

7、顯像管和陰極射線管生產、配料用純水。

8、電解電容器生產鋁箔及工作件的清洗。