昆山國華真空等離子清洗機的氣路控制

1 真空等離子清洗機氣路控制部分的主要組件

1-1 氣體調壓及處理組件

真空等離子清洗機通入的氣體通常都是潔凈度相對較高的工藝氣體，所以氣體調壓及處理組件基本結構多為調壓閥和過濾器組成。其主要作用是將氣壓控制在所需壓力范圍內及過濾氣體中可能含有的雜質，以保證后端流量計等組件的運行穩(wěn)定性和氣體潔凈度。目前真空等離子清洗機的常用的氣體調壓及處理組件按結構特點分為組合式和一體式兩種。

1-2 帶報警輸出的減壓表

為實時監(jiān)控等離子清洗機的氣體壓力是否符合工作要求，在氣體調壓閥上都會安裝帶報警輸出功能的壓力表，在壓力過低時輸出報警信號，以保證設備和正常運行及工藝氣體的穩(wěn)定。帶報警輸出的減壓表分為指針式和數顯示兩種。

1-3 真空電磁閥

真空等離子清洗機在工作時需維持工藝要求的真空度及真空腔體的密封，因此其連接腔體的各氣路閥門必須滿足真空密封要求，我們應該選擇相匹配的帶氣路控制的真空電磁閥。真空等離子清洗機為保證運行穩(wěn)定性，都是一個真空電磁閥控制一路氣體，所選用的真空電磁閥都是兩位兩通式

1-4 流量計

真空等離子清洗機的進氣量是由流量計所控制的，其原理是通過調節(jié)通入氣體閥門的大小來實現通流量的控制，等離子清洗機使用的流量計分為氣體浮子流量計和質量流量控制器（MFC）兩種。

氣體浮子流量計是通過手動調整開啟閥門的大小來實現氣體流量控制，閥門開啟后會受氣體壓力變化、震動等多因素影響而造成實際通入氣體流量浮動范圍大，不適用于對工藝氣體流量要求嚴格的等離子清洗機。

質量控制器一般都是自動對工藝氣體的質量流量進行精密測量和控制，保證等真空離子清洗機處理工藝的穩(wěn)定；對于部分腐蝕性氣體或其他特殊氣體也可以實現精確控制。

2 真空等離子清洗機的氣路控制布局及特點

2-1常用氣路控制布局

①真空等離子清洗機常規(guī)氣路通常包括兩路工藝氣體控制、一路破空氣體控制、一路壓縮空氣（CDA）控制。

2-2 各氣路組成部分及特點

①壓縮空氣控制部分只需氣體高壓、過濾器及帶輸出報警壓力表整套組件，不需其他組件。因CDA為部分元件的動力氣體，只需在氣體壓力不足時提供報警即可。

②破空氣體部分是在CDA控制氣路基礎上增加一支大口徑真空電磁閥，在工藝運行結束后為真空腔體提供破真空氣體輸入服務。因破真空氣體通常為高潔凈氣體，所以部分破真空氣路中沒有安裝過濾器。

③工藝氣體通常為高潔凈氣體，過濾器通常也是選裝組件。工藝氣體控制部分主要包括調壓閥、過濾器、帶報警輸出報警表、真空電磁閥和質量控制器。工藝氣體通常配置兩路，可根據要求配置多路。

昆山國華真空等離子清洗機的氣路控制

3 真空等離子清洗機的氣體各控制組件及進氣順序如下：

過濾器→調壓閥（帶報警壓力輸出表）→真空電磁閥→質量控制器