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MicroXAM-800光學輪廓儀

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海市
  • 更新時間2019-09-24
  • 廠商性質經銷商
  • 所在地區上海市
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  • 產品數量48
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產地國產 加工定制
MicroXAM-800光學輪廓儀
兩者都是傳統的相干掃描干涉技術(CSI)。MicroXAM進一步擴展了這些技術,它采用SMART Acquire為新手用戶簡化了程序設置,并且采用z-stitching干涉技術可以對大臺階高度進行高速測量。
MicroXAM-800光學輪廓儀 產品詳情

MicroXAM-800光學輪廓儀MicroXAM-800是一款基于白光干涉儀的光學輪廓儀,采用相位掃描干涉技術(PSI)對納米級特征進行測量,以及采用垂直掃描干涉技術(VSI)對亞微米至毫米級特征進行測量。 MicroXAM-800的程序設置簡單靈活,可以進行單次掃描或多點自動測量,適用于研發和生產環境。

產品描述:

MicroXAM-800光學輪廓儀是一種非接觸式3D表面形貌測量系統。MicroXAM的白光干涉儀可以埃級分辨率對表面進行高分辨率測量。 該系統支持相位和垂直掃描干涉測量,兩者都是傳統的相干掃描干涉技術(CSI)。MicroXAM進一步擴展了這些技術,它采用SMART Acquire為新手用戶簡化了程序設置,并且采用z-stitching干涉技術可以對大臺階高度進行高速測量。

MicroXAM測量技術的優勢在于測量的垂直分辨率與物鏡的數值孔徑無關,因而能夠在大視野范圍內進行高分辨率測量。測量區域可以通過將多個視場拼接為同一個測量結果而進一步增加。 MicroXAM的用戶界面創新而簡單,適用于從研發到生產的各種工作環境。

主要功能:

  • 針對納米級到毫米級特征的相位和垂直掃描干涉測量

  • SMART Acquire簡化了采集模式并采用已知的程序設置的測量范圍輸入

  • Z-stitching干涉技術采集模式,可用于單次掃描以及編譯多個縱向(z)距離很大的表面

  • XY-stitching可以將大于單個視野的連續樣本區域拼接成單次掃描

  • 使用腳本簡化復雜測量和工作流程分析的創建,實現了測量位置、調平、過濾和參數計算的靈活性

  • 利用已知技術,從其他探針和光學輪廓儀轉移算法

主要應用:

  • 臺階高度:納米級到毫米級的3D臺階高度

  • 紋理:3D粗糙度和波紋度

  • 形式:3D翹曲和形狀

  • 邊緣滾降:3D邊緣輪廓測量

  • 缺陷復檢:3D缺陷表面形貌

關鍵詞:輪廓儀
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