脈沖激光熱反射法薄膜導熱儀熱反射(Thermo-Reflectance)方法基于超高速激光閃射系統,可測量基片上金屬、陶瓷、聚合物薄膜的熱物性參數,如熱擴散系數(Thermal Diffusivity)、熱導率(Thermal Conductivity)、吸熱 系數(Thermal Effusivity)和界面熱阻。
由于激光閃射時間僅為納秒(ns)量級,甚至可達到皮秒(ps)量級,此系統可測量厚度低至10nm的薄膜。同時,系統提供不同的測量模式,以適應于不同的基片情況(透明/不透明)。
該方法符合標準:
JIS R 1689:通過脈沖激光熱反射方法測量精細陶瓷薄膜的熱擴散系數;
JIS R 1690:陶瓷薄膜和金屬薄膜界面熱阻的測量方法。
發展簡史脈沖激光熱反射法薄膜導熱儀
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