系統(tǒng)構(gòu)成

   本系統(tǒng)主要由以下部分組成：

   兩組份動態(tài)配氣系統(tǒng)

   計算機與操作軟件（也可以用觸摸屏，那就不需要配計算機和軟件部分）

系統(tǒng)各部分組成如下：

   兩組份動態(tài)配氣系統(tǒng)

   該系統(tǒng)運用目前上*的測量和控制技術(shù)，設備穩(wěn)定可靠，配制精度高。全自動化控制，操作簡單可靠。設備集成在一個機箱內(nèi)。外觀簡潔，美觀。主要設備包括：質(zhì)量流量控制器，單向閥，截止閥，氣體混合管路等。由于存在甲烷，乙烷，乙烯，乙炔等易燃易爆危險性介質(zhì)。配氣系統(tǒng)設計氣路和電路控制部分分開安裝，同時在可能存在可燃性氣體泄漏的地方安裝風扇，通過風扇保證空氣流通，防止可燃氣聚集。保證系統(tǒng)和人員的安全。

   系統(tǒng)設計為兩組份配氣方式，其中一路為稀釋氣，其他一路為源氣，氣源采用標準瓶氣。

   該系統(tǒng)配置2個美國*質(zhì)量流量控制器，可實現(xiàn)2個組份氣體混合配比。

   系統(tǒng)數(shù)據(jù)庫內(nèi)有多達四五十種氣體，使用時通過計算機直接調(diào)取選擇。 

   混合氣體大流量：≈ 2 L/min。

   配氣通道：2路

主要技術(shù)參數(shù)

  1.氣體質(zhì)量流量控制器（美國MFC）

  1）Range1：0～2000ml/min

    Range2：0～500ml/min

  2)精確度：±1%

  3)密封：Viton(耐高溫氟素橡膠)

  4)響應時間：1…2seconds

  5)重復性：< ±0.2% Rd

  6)量程比：1:50（數(shù)字模式為：1:187.5）

  7)泄漏率: tested < 2 x 10-9 mbar l/s He

  8)電源：＋15…24VDC@320mA

  9)使用溫度：-10…70 ℃

  10)壓力靈敏度：0,1% Rd/bar typical N2; 0,01% Rd/bar typical H2

  11)溫度靈敏度：Zero：<0.05% Rd /℃; Span：<0.05%Rd/℃ 

  12)輸出：4…20mA and RS-232

  2.氣路

  整個系統(tǒng)氣路均采用防腐防吸附的內(nèi)表面拋光處理聚四氟乙烯管

  3.轉(zhuǎn)子流量計

  方便使用,配制出來多余的氣體可以通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)子流量計直接排出

  4.計算機及系統(tǒng)軟件

  1)配氣系統(tǒng)通過觸摸屏操作。

  2)兩組份配氣軟件

配氣系統(tǒng)根據(jù)要求，可以設置鋼瓶和對應的端口。并可以通過流量模式和濃度模式配氣。通過軟件自動計算，氣體質(zhì)量流量控制器自動調(diào)節(jié)控制氣體流量，以實現(xiàn)氣體配比濃度要求。