自動RTP快速升溫管式爐BTF-1200C-RTP-180
開啟式RTP快速升溫管式爐由我公司自主研發的功能強大的加熱設備。該產品采用*制造工藝，造型新穎結構合理，爐體爐管可實現自動分離，爐體上下兩半設計，可以自由打開，安全可靠。爐膽采用高密度純氧化鋁聚輕纖維材料真空吸附成型，表面涂覆高反射率的超高溫保護涂層，除能夠保持其能量的低損耗，還能增強高溫穩定性，可有效減少熱能損耗。
自動RTP快速升溫管式爐BTF-1200C-RTP-180
開啟式RTP快速升溫管式爐由我公司自主研發的功能強大的加熱設備。該產品采用*制造工藝，造型新穎結構合理，爐體爐管可實現自動分離，爐體上下兩半設計，可以自由打開，安全可靠。爐膽采用高密度純氧化鋁聚輕纖維材料真空吸附成型，表面涂覆高反射率的超高溫保護涂層，除能夠保持其能量的低損耗，還能增強高溫穩定性，可有效減少熱能損耗。該系統可滿足離子注入后的快速退火，也可用于歐姆接觸快速合金，還可用于硅化物合金退火，氧化物生長，以及銅銦鎵硒光伏應用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。采用雙管設計，是石墨烯的制作的手段，爐體和爐管可以自由滑動，氣體和溫度及真空之間可以同步控制，可以同時實現自動化工藝，配上電腦可以對溫度、真空和氣體流量實現控制。由于可以實現系統化控制，對于操作和實驗的重復性會非常有幫助。該設備是實驗室*的一款設備。
自動RTP快速升溫管式爐BTF-1200C-RTP-180
技術參數
項目 | 主要技術指標 | 數據 |
規格型號 | BTF-1200C-RTP-180 |
|
溫度控制 | 溫度點 | 1200℃ |
額定溫度 | 1100℃ | |
穩定狀態溫度范圍 | 100～1050℃ | |
溫度測量精度 | ±0.2℃ | |
溫度控制重復性 | ±1℃ | |
溫度控制精確度 | ±1℃ | |
溫場均勻性 | ±2℃ | |
溫度狀態工藝時間 | 2～100（100～1050℃） | |
升溫速率 | 30℃/S（可根據客戶需求定制） | |
降溫速率 | 1～300，可以采用打開爐體降溫或移除爐管降溫同時啟動流量計閥控控制氣體冷卻 | |
溫度控制模式 | 智能模糊全閉環控制 | |
| 觸摸屏尺寸 | 7"LCD 工控電腦 |
物理指標 | 大功率（KW） | 24 |
額定電壓 | 220V/AC380～400V 50-60HZ 自動匹配 | |
傳感器類型 | K型 | |
反應腔室內徑尺寸 | Φ180×580 | |
式樣有效空間 | 6'' | |
抽氣端口尺寸 | KF25 | |
供氣口尺寸 | Φ6mm雙卡套 | |
冷卻方式 | 自然冷卻或強迫風冷N2或壓縮空氣：2psi（0.14kg/cm2）– 7psi（0.5kg/cm2） | |
外形凈尺寸 | 長920×深500×高560mm | |
重量 | 約80Kg |
