軟X射線分析譜儀

通過組合新開發的衍射光柵和高靈敏度Ｘ射線CCD相機，實現了*的能量分辨率。

和EDS一樣可以并行檢測，并且能以0.3eV(費米邊處Al-L基準)的*能量分辨率進行分析，超過了WDS的能量分辨率。

系統簡介

新開發設計的分光系統，不需移動衍射光柵或檢測器（CCD）就能同時獲取不同能量的譜圖。而且由于能量分辨率很高，還可以采集狀態分析分佈圖

SXES、WDS、EDS的比較

各種分光方法中氮化鈦樣品的譜圖

即使在WDS分析中氮化鈦的譜峰也發生重疊，需要采取去卷積的數學方法處理。如下圖所示，SXES具有很高的能量分辨率。

軟X射線分析譜儀比較表

特征 SXES EPMA(WDS) EDS

分辨率 0.3 eV

(費米邊處 Al-L) 8 eV (FWHM@Fe-K） 120-130 eV

(FWHM@Mn-K）

化學結合狀態分析 可以 可以(主要是輕元素) 不可以

并行檢測 可以 不可以

(但分光譜儀臺數范圍即可) 可以

分光晶體和檢測器 衍射光柵＋CCD 分光晶體＋正比計數管 SDD

檢測器冷卻 珀爾帖冷卻 不需要 珀爾帖冷卻

檢測限(以B作為參考值) 20ppm 100ppm 5000ppm

鋰離子二次電池（LIB）分析實例

能觀察到LIB的充電量

輕元素的測試實例

SXES測試碳素化合物的實例

可以測試金剛石、石墨、聚合物的不同。

各種氮素化合物的測試實例

氮素也可以根據波形分析化學結合狀態。 硝酸鹽和氮化物的波形*不同，還能觀察到易受電子束損傷的銨鹽的*波形。