性能規格
厚度范圍, : 50 nm - 10 mm
厚度范圍, : 0 - 3 μm
重復性, : 1.0 nm
重復性, : 0.1 nm
臺階高度 準確性1: 0.7%
臺階高度 重復性2: 0.1%
樣品反射率范圍: 0.05% -
ISO 25178 兼容: 是
機械規格
Z 范圍: 100 mm
(壓電)范圍: 500 μm
垂直掃描速度: 12 μm/sec
XY 平臺類型: 自動
XY 平臺范圍: 100 mm x 100 mm
t平臺: +/- 5°, 手動
相機: 2592 x 1944 (5 百萬像素)
相機變焦 3: 1X, 2X, 4X
系統尺寸，寬x深x高: 300 mm x 300 mm x 550 mm
系統重量: 15 公斤
三維光學輪廓儀由北京哈科研發生產，可用于眼科鏡片、科研、高亮度LED、半導體器件、TSV、太陽能電池片、汽車零部件、觸摸屏和精密加工零件等各行業，為用戶提供快速、準確地三維非接觸式測量。
