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  • BROOKS 4800質量流量控制器 質量流量計

4800 BROOKS 4800質量流量控制器 質量流量計

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  • 型號4800
  • 品牌
  • 所在地西安市
  • 更新時間2022-10-07
  • 廠商性質代理商
  • 所在地區西安市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量15
  • 人氣值10670
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西安歐潤凱機電科技有限公司是一家服務石油化工,大學實驗室,研究所,航空航天、食品制造業、醫藥制造業、火電、核電、天然氣加氣站、半導體、太陽能、液晶面板制造等行業的高科技公司。公司秉承著“專業、誠信、值得信賴”的經營理念,致力、流體系統領域提供世界的產品同服務,公司總部位于北京,上海也有分公司,業務覆蓋全國。我們多年的經驗同積累,我們的專業和不斷地創新,我們的誠信和優質服務, 得到了各行業客戶的*肯定和好評,為企業贏得了*商譽。 

企業目標 
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客戶信賴的、優質的品牌供應商 
經營理念 
專業、誠信、優質的服務 
服務宗旨 
以合理的價格、完善的服務,提供可靠的產品 
以客戶需求為先,引進國內*技術產品,為客戶帶來更為全面的現場解決方案
產品范圍

1、不銹鋼卡套管閥配件(球閥、針閥、單向閥、過濾器、安全閥、計量閥、阻火器、儀表閥、閥組等)接頭包括卡套接頭、卡套轉螺紋接頭、卡套轉焊接接頭等產品

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  7. 不銹鋼減壓閥/背壓閥
  8. 不銹鋼取樣鋼瓶/壓力容器
  9. 實驗室不銹鋼反應裝置(馬弗爐、管式爐、反應釜、反應皿、真空反應腔體)
  10. 氣體設備類(特氣柜、VMP、VMB、氣路板、石油化工設備、匯流排等)
  11. 實驗室改造/氣路改造工程(試驗臺搭建、通風管路改造安裝、通風櫥、氣體管路改造安裝)
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產地進口 工作溫度0-65℃ 工作壓力0-10Mpa
公稱直徑3-6mm 加工定制 精度等級0.5
款式電子帶數顯 量程比1:200 流量測速范圍0-30SLPMkg/h
適用介質氣體 溫度范圍中溫 壓力范圍中壓
轉換器形式一體式
1 流量規格(N2) 10sccm~30slpm
2 準確度 ±1%F.S(Full Scale)
3 重復精度 ±0.25%F.S(Full Scale)
4 響應時間 ≤2sec(特別要求時:≤1sec)
5 耐壓 ≤90bar
6 工作環境溫度 0℃~50℃
7 輸入輸出信號 0~5V 0~5V or 4~20mA
8 供電 +15Vdc or +24Vdc 350mA
BROOKS 4800質量流量控制器 質量流量計 產品詳情

布魯克斯氣體質量流量控制器和流量計廣泛應用于:真空鍍膜設備、光電產業到工業工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVDCVDMOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入,直拉式晶爐,精密半導體、燃料電池、氣調儲存保鮮相關設備、生物反應器、生物過程控制器、大學實驗室、研究所、食品及制藥產業、醫療設備、氣相色譜儀等相關行業。?數模橡膠密封;流量范圍:0.003-30 slpm;耐壓:100 Bar精度:±1.0% of rate(20%-**** FS);±0.2% FS(below 20% FS);±1.0% of FS(1100-2500 slpm)

  • DeviceNet™RS-485 L-協議和模擬接口
  • 按照半導體行業標準對高性能組件進行七次連續測試以確保其可靠性
  • 表面積和未吹掃體積更小的全金屬耐腐蝕流路可確保流路在吹掃步驟更快干燥
  • MultiFlo™ 技術可在 60 秒內完成新過程氣體和/或量程的設定操作  不再需要拆除并校準 MFC
  • *零點穩定性,每年變動小于滿量程的 ± 0.5%
  • 穩定時間:500 ms - <1 
  • 滿量程流速高達 300 slpm
  • 全金屬密封流路: Ra 表面處理的流路
  • 耐腐蝕 Hastelloy® T-Rise 傳感器可提升高溫下測量結果的可重現性
  • MultiFlo™ 氣體和量程設定功能  一臺設備即可滿足數千種氣體類型和各種量程組合的需求,無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度
  • 本地顯示屏
  • 可選 SDS 氣體輸送
  • DeviceNet™RS-485 L-協議和模擬接口
  • 半導體蝕刻工具
  • 薄膜化學氣相沉積系統(CVDMOCVDPECVDALD
  • 物理氣相沉積 (PVD) 系統
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