四甲基氫氧化銨（TMAH）濃度在線檢測儀在半導體行業的應用介紹
四甲基氫氧化銨（TMAH）濃度在線檢測儀，在電子行業中廣泛用作FT-LCD、IC正膠顯影劑、硅晶蝕刻劑、CMP過程超純清洗劑，同時也是液晶顯示器中的顯像液。隨著電子工業日新月異的發展，PCB技術也在飛速發展。作為PCB圖形成像之關鍵工序——顯影，直接影響著線路品質及阻焊的品質，顯影的品質要求不能有顯影不凈，不能有顯影過度，不能有掉線和綠油脫落等，顯影露銅點50% ~ 60%（一半顯影段）。因此顯影液濃度的控制對顯影工序起著非常重要的作用。
例如：根據工藝要求需要將現存的濃度為20%的TMAH潔凈液稀釋到目標濃度2.48%，需要在線儀表提供準確TMAH濃度測量，已達到精確配置目標濃度顯影液的目的。目前國內常用采樣后分析系統測量TMAH的濃度，測量過程大概需要20分鐘時間，該方式不具備實時性，過程管道的濃度變化無法及時監測到，導致調控滯后。為了提高生產量，顯影液的配對效率需要提高，縮短配比的時間，需要在線實時對TMAH的濃度進行監控，完善工藝控制要求。采用折光原理的TMAH在線濃度儀能夠滿足在線檢測要求，且測量精度高。
四甲基氫氧化銨（TMAH）在線濃度計利用折光的原理測得溶液的折光率，折光率與TMAH溶液的濃度有*的對應關系。通過換算從而得到溶液的實際濃度。這種測量原理穩定性好，精度高，它適用于管道安裝或容器壁處的安裝，以及其它等多種安裝方式。
的優點：
1.在線連續檢測，不再需要人工頻繁取樣實驗室檢測，節省大量人力、財力
2.消除人工檢測誤差，保證產品*性
3.連續測量，迅速反饋，提升產品質量
4.提高自動化程度，相關的濃度數據可通過組網的形式與中控室連接
5.不受溶液氣泡、壓力影響（與密度法相比）
CY-TMAH在線濃度傳感器
| 產品型號 | CY-TMAH-A | CY-TMAH-D |
| 測量范圍 | 0.0 至30.0% | |
| 分 辨 率 | ( Brix )：0.1% 溫度：0.1°C | |
| 測量精度 | ±0.1% 溫度 ±0.5°C | |
| 測量溫度 | 5至 100°C (自動溫度補償) | |
| 環境溫度 | 5至 40°C | |
| 輸入電源 | DC 24V | |
| 關鍵材質 | 傳感器殼體：SUS316L | |
| 信號輸出 | DC4 至 20mA | RS-232 |
| 防護等級 | IP67 防塵、防濺水 | |
| zui高壓力 | < 1MPa | |
| 產品尺寸 | ￠99X175 | |
| 選 購 件 | *清洗組件CY-CL77 *CY-TMAH-D建議選配CY-MC濃度控制儀使用 | |
