遼寧研生科技有限公司是壓電納米定位超精密位移臺的專業制造商。

壓電納米定位平臺 壓電平移臺 壓電陶瓷平臺

?遼寧研生科技有限公司自主研發的產品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動器、壓電納米定位臺/掃描臺、壓電平移臺/升降臺/偏擺臺/旋轉臺、壓電光束偏轉鏡、壓電顯微掃描平臺、壓電物鏡聚焦/掃描器、壓電紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達/電機、壓電螺旋促動器、壓電點膠閥、壓電機床微進給平臺、六軸并聯微位移定位系統、高精度位移傳感器、壓電陶瓷驅動/控制器、高精度微位移測量系統等幾十個系列產品。

3~6維壓電納米定位平臺 多軸并聯式納米定位超精密位移臺║P66/68系列

壓電納米定位平臺 壓電平移臺 壓電陶瓷平臺

P68系列是采用壓電陶瓷驅動的三至六維并聯式納米級精密壓電定位平臺，壓電陶瓷平臺內部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構，壓電平移臺采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構，柔性導向系統具有超高的導向精度，且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點，壓電平臺內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋，確保了平臺具有的運動控制精度，定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級，定位穩定時間僅為毫秒量級。平臺內部采用并聯式結構設計 ， 結構緊湊，所有促動器作用在同一個移動臺面上，可同時實現多軸運動且每軸具有相同的動態性。對比嵌套式或疊堆式的串聯結構，并聯結構有著更輕的質量，更低的慣量和更高的動態性。中空式設計，且*通孔較大，可更好的適用于顯微及掃描系統中。

3~6維壓電納米定位平臺 多軸并聯式納米定位超精密位移臺║P66/68系列

產品特點:

◆ 外形尺寸：特大中空尺寸；

◆ 采用無摩擦、無空回柔性鉸鏈并聯導向系統，具有超高的導向精度；

◆ 內置高性能的壓電陶瓷，高可靠性；

◆ 內置精密位移傳感器進行全閉環位置反饋，開/閉環可供選擇。

3~6維壓電納米定位平臺 多軸并聯式納米定位超精密位移臺║P66/68系列

產品應用：

掃描顯微鏡（SPM）　•　干涉　•　計量　•　掩模/晶圓定位　•　度量衡學　•　生物技術　•　顯微光學　•　激光技術　•　微操作

       遼寧研生科技有限公司研生科技的納米級精密定位產品類型豐富，運動自由度從一維至六維[X,Y,Z,θX, θY,θZ]，運動行程從幾微米至幾千微米，承載能力從幾百克至幾百千克，推/拉力從幾牛頓至幾千牛頓，具有多種結構類型如疊堆式結構、嵌套式結構以及性能更優異的并聯式結構等，定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級，定位穩定時間僅為毫秒量級，主要技術指標已達到*水平，可*地替代進口產品。

       研生科技的產品和技術主要應用于前沿領域科學研究、半導體制造與檢測、生物顯微成像、精密光學系統、光電子對準與封裝、光學跟蹤與掃描、超精密加工、*自動化等領域。廣泛服務于各高校、科研院所以及各類制造光學顯微檢測設備、激光加工設備、半導體IC設備、測量/檢測儀器、光電設備、光學儀器、醫療設備、特種精密加工等的高精密裝備制造商。