主要技術參數:
爐體結構 | 整機采用SUS304不銹鋼材質,流線型外觀,斷熱式結構; *真空吸附成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好 爐子底部裝有一對滑軌,移動平穩 爐子可以手動從一端滑向另一端,實現快速的加熱和冷卻 爐蓋可開啟,可以實時觀察加熱的物料 |
電源 | 電壓:AC220V 50/60Hz;功率:4KW |
爐管 | 高純石英管,高溫下化學穩定性強,耐腐蝕,熱膨脹系數極小 尺寸:Φ60*1200mm |
法蘭及支撐 | SUS304不銹鋼快速法蘭,通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空 一個卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷 可調節的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐 包含進氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合 |
加熱系統 | 加熱元件采用優質合金絲0Cr27Al7Mo2,表面負荷高、經久耐用 加熱區長度:300mm 恒溫區長度:150mm 工作溫度:≤1150℃ zui高溫度:1200℃ 升溫速率:10℃/min |
溫控系統 | 日本富士溫控儀表,64段控溫程序,可分步、分段
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混氣系統 | 三路質量流量計:數字顯示、氣體流量自動控制 內置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥 管路采用不銹鋼管,接口為Φ6卡套 每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥 通過控制面板上的旋鈕來調節氣體流量 流量規格:0~200sccm 流量精度:±1.5% |
高真空真空系統 | 采用雙級旋片真空泵+分子泵,極限真空可達4.0*10^-4Pa 復合真空計,配置電阻規+電離規 抽速:110L/S 冷卻:風冷 電源:AC220V 50/60Hz |
射頻電源系統 | 輸出功率:0-300W 功率穩定度:±0.1% 射頻電源頻率:13.56MHz 穩定性±0.005% zui大反向功率:120W 射頻電源電子輸出端口:UHF 冷卻:風冷 電源:AC187-253V 50/60Hz |
可選配件 | 混氣系統,中、高真空系統,各種剛玉、石英坩堝,石英管,計算機控制軟件,無紙記錄儀,氧含量分析儀。 |